Interferometr różnicowy

Głowica detekcyjna interferometru różnicowego RLD10-X3-DI umożliwia pomiar przemieszczenia względnego pomiędzy nieruchomym zwierciadłem referencyjnym oraz ruchomym zwierciadłem pomiarowym. Głowica detekcyjna RLD10-X3-DI, która jest szczególnie przydatna do zastosowań próżniowych i w środowiskach o kontrolowanych parametrach, jest przystosowana do mocowania na zewnętrznej ściany komory procesowej za pomocą prostego zamocowania z trzema kołkami. Nie występuje potrzeba wchodzenia do komory w celu zestrojenia głowicy detekcyjnej - integralne sterowniki wiązek zapewniają niezależne ustawianie wysokości i odchylenia wiązki referencyjnej i pomiarowej, a konstrukcja układu zamocowania pozwala na zdejmowanie i ponowne zakładanie głowicy detekcyjnej z minimalnym wpływem na zestrojenie systemu.

Dane techniczne

Podstawą dla powyższych liczb jest użytkowanie głowicy RLD10-X3-DI z zespołem lasera RLU20.

Właściwości i korzyści

• Wyjątkowe parametry metrologiczne
  stabilność częstotliwości rzędu ppb oraz ultra mały błąd cykliczny, co pozwala na uzyskanie rozdzielczości 38,6 pm.
• Różnicowa konfiguracja
  Pomiar położenia pomostu względem kolumny lub przedmiotu obrabianego względem narzędzia oraz eliminacja takich często występujących błędów, jak przemieszczanie się ścian komory związane z wahaniami parametrów środowiska.
• Szybkie zestrojenie
  Prosty układ zestrojenia z zewnątrz komory procesowej przy użyciu czterech zintegrowanych sterowników wiązek (ustawianie ±1° wysokości i odchylenia wiązki referencyjnej i pomiarowej) umożliwia kontrolowanie tolerancji montażowych komory i zwierciadeł.

Zarejestruj swe zainteresowanie laserowymi przetwornikami położenia.