Interferometr ze zwierciadłem płaskim RLD10
Interferometry ze zwierciadłem płaskim nadające się do współpracy z zastosowaniami w płaszczyźnie XY.
W głowicy detekcyjnej RLD10 umieszczono układ optyczny interferometru, unikatowy, wielokanałowy układ detekcji prążków, przysłonę lasera i wbudowany sterownik wiązki. Dostępne są dwie wersje głowicy detekcyjnej RLD10 — 0° i 90°.
Właściwości i korzyści
- Rozwiązania dwuosiowe — dwuosiowe systemy ze zwierciadłem płaskim są idealnym rozwiązaniem w zastosowaniach z płaszczyzną XY.
- Wysoka rozdzielczość — systemy ze zwierciadłami płaskimi można także wykorzystywać w zastosowaniach, w których wymaga się wyższej rozdzielczości w porównaniu z systemami z retroreflektorem.
- Wrażliwe środowiska — głowice detekcyjne z interferometrem ze zwierciadłem płaskim są też dostępne także w wersjach o mniejszej mocy. Nadają się do zastosowań wymagających rozpraszania mocy niższych niż określone < 2 W standardowej głowicy detekcyjnej RLD10.
Dane techniczne
| Przesuw w osiach | od 0 m do 1 m |
| Rozdzielczość (skonfigurowano z RLU) | Analogowa kwadraturowa = λ/4 (158 nm) |
Błąd nieliniowości systemu* (SDE) *z wyłączeniem interfejsu | <±2,5 nm poniżej 50 mm/s przy sile sygnału >70% <±7,5 nm przy prędkości 1 m/s przy sile sygnału >50% |
| Szybkość maksymalna | do 1 m/s |
W przypadku niepróżniowych zastosowań wymagana jest jakaś forma kompensacji współczynnika załamania światła dla utrzymania dokładności w zmiennych warunkach środowiskowych. Do kompensowania tych wahań firma Renishaw oferuje system kompensacji kwadraturowej czasu rzeczywistego RCU10.
Integrując interfejs równoległy RPI20 z systemem RLE, można uzyskać rozdzielczość do 38,6 pikometra. Ten interfejs przyjmuje różnicowe sygnały analogowe 1 Vpp o przebiegu sinusoidalnym / kosinusoidalnym oraz generuje sygnał wyjściowy w formacie równoległym. Więcej informacji na temat akcesoriów można znaleźć w tematach dotyczących systemu kompensacji RCU10 oraz interfejsów enkoderów laserowych.
Informacje o produkcie
Inne obszary zainteresowania
