Omiń nawigację

Interferometr różnicowy RLD10

Interferometry różnicowe umożliwiają pomiar względem zdefiniowanego odniesienia.

W głowicy różnicowej zastosowano unikatowy układ optyczny w celu uzyskania niskiej wartości błędu cyklicznego (SDE). Wbudowane sterownik wiązki pozwalają na regulację skoku i odchylenia podczas konfigurowania, co ułatwia proces zestrojenia (nadaje się tylko do zastosowań ze zwierciadłami płaskimi).

Głowica detekcyjna RLD10-X3-DI jest przeznaczona do montażu na zewnętrznej ścianie komory procesowej za pomocą prostego zamocowania z trzema kołkami. Nie ma potrzeby wchodzenia do komory w celu zestrojenia głowicy detekcyjnej — integralne sterowniki wiązek zapewniają niezależne ustawianie wysokości i odchylenia wiązki referencyjnej i pomiarowej, a konstrukcja układu zamocowania pozwala na zdejmowanie i ponowne zakładanie głowicy detekcyjnej z minimalnym oddziaływaniem na zestrojenie systemu.

Właściwości i korzyści

  • Wyjątkowe parametry metrologiczne — stabilność częstotliwości rzędu ppb oraz bardzo niski błąd cykliczny, co pozwala na uzyskanie rozdzielczości rzędu 38,6 pm.
  • Różnicowe konfiguracje — pomiar położenia pomostu względem kolumny, co oznacza eliminację takich często występujących błędów, jak przemieszczanie się ścian komory związane z wahaniami parametrów środowiska.
  • Szybkie zestrojenie — prosty układ zestrojenia z zewnątrz komory próżniowej przy użyciu czterech zintegrowanych sterowników wiązek umożliwia kontrolowanie tolerancji montażowych komory i zwierciadeł.

Dane techniczne

Przesuw w osiach0 m — 1 m
Rozdzielczość (rozdzielczość skonfigurowana z RLU)Analogowa kwadraturowa = λ/4 (158 nm)
Cyfrowa kwadraturowa = 10 nm
Rozdzielczość RPI20 = 38,6 pm

Błąd nieliniowości systemu* (SDE)

*z wyłączeniem interfejsu

<±1 nm poniżej 50 mm/s przy sile sygnału >70%
<±6 nm przy prędkości 1 m/s przy sile sygnału >50%
Szybkość maksymalnado 1 m/s
Głowica detekcyjna z interferometrem różnicowym jest często konfigurowana za pomocą źródła laserowego RLU20 firmy Renishaw. Wysoka stabilność źródła laserowego RLU20 — w połączeniu z parametrami głowicy detekcyjnej z interferometrem różnicowym — nadaje się idealnie do pomiarów w komorach próżniowych i innych środowiskach roboczych o ściśle kontrolowanych parametrach.

Informacje o produkcie