Peryskop wieloosiowy RMAP
Umożliwia pomiar w sześciu stopniach swobody w zastosowaniach ze stolikami XY przez zminimalizowanie średnicy plamki wiązki laserowej z wielu interferometrów. Wykorzystując trzy głowice interferometryczne RLD10-X3-DI, peryskop wieloosiowy umożliwia precyzyjny pomiar pochylenia w pionie, odchylenia w poziomie, obrotu i położenia liniowego.
Dzięki zakresowi kątowemu ±30 sekund kątowych peryskop wieloosiowy jest kompatybilny z większością stolików o wysokiej wydajności, jeszcze bardziej optymalizując ich działanie. Pojedyncza płaszczyzna montażowa umożliwia szybki i łatwy montaż peryskopu wieloosiowego do komory próżniowej lub ramy metrologicznej.
Dzięki zastosowaniu głowicy RLD10-X3-DI do pomiarów kątowych błędy spowodowane zmianą częstotliwości lasera i zmian warunków środowiskowych występują w obu torach. Poprawia to dokładność i powtarzalność w porównaniu do odchyłek kątowych obliczanych na podstawie dwóch niezależnych wiązek laserowych.
Właściwości i korzyści
- Niewielka średnica plamki wiązki laserowej — zmniejszona do wymiarów 18 mm na 35 mm w celu zminimalizowania rozmiaru i masy zwierciadeł docelowego układu optycznego.
- Łatwa instalacja — montaż przy użyciu czterech śrub bezpośrednio na zewnętrznej części komory próżniowej.
- Wysoka wydajność — wykorzystanie niezależnych głowic RLD10-X3-DI zwiększa dokładność i powtarzalność w porównaniu z metodami konwencjonalnymi.
Informacje o produkcie
Inne obszary zainteresowania
