Omiń nawigację

Systemy optycznych przetworników położenia do stosowania w bardzo wysokiej próżni (UHV)

Właściwości

  • Skonstruowane z materiałów i klei odpowiadających wymaganiom zastosowań próżniowych, zapewniają niskie stopnie odgazowania
  • Potwierdzone „czyste” wyniki analiz gazów resztkowych (RGA)
  • Temperatura podgrzewania do 120°C
  • Otwarty, bezdotykowy układ optyczny oferuje bardzo szybkie, niezawodne działanie z zerowym tarciem i zużyciem
  • Brak niewentylowanych, pustych przestrzeni
  • Rodzina liniałów liniowych i obrotowych o wysokiej dokładności

W wielu procesach przemysłowych obecność znaczących ilości powietrza lub innych gazów ma szkodliwy wpływ na produkt gotowy, dlatego też ich produkcja musi odbywać się w środowisku o wymagających parametrach, jeśli chodzi o ciśnienie szczątkowe. Gdy te procesy obejmują sterowanie przemieszczeniami, wymagane są przetworniki położenia do zastosowań próżniowych.

Wszystkie produkty firmy Renishaw z rodziny przetworników położenia do bardzo wysokiej próżni (UHV) są przeznaczone do zastosowań w przemyśle półprzewodników i badań naukowych, a także innych zaawansowanych rozwiązań przemysłowych w warunkach próżni do 10 -10 tora. Podstawowe zasady działania są takie same, jak w wypadku ich odpowiedników przeznaczonych do standardowej atmosfery, przy czym w wersji do bardzo wysokiej próżni wyeliminowano niewentylowane puste przestrzenie, zaś do produkcji użyto czystych materiałów i klejów do zastosowań próżniowych. Przydatność tych produktów do stosowania w bardzo wysokiej próżni została potwierdzona przez niezależną, specjalistyczną firmę testującą, łącznie z testem widma analizy gazów resztkowych (RGA, dostępny na życzenie).

Logo zgodności z zastosowaniami w bardzo wysokiej próżni (UHV)

Rodzina obejmuje absolutne głowice RESOLUTE™ oraz przyrostowe głowice TONiC™ i RGH25F, a także różne liniały liniowe i kątowe, charakteryzujące się doskonałymi parametrami i niezawodnością.

Absolutne przetworniki położenia do bardzo wysokiej próżni

RESOLUTE UHV to pierwszy rzeczywiście absolutny optyczny przetwornik położenia do zastosowań w bardzo wysokiej próżni. Zastosowano w nim te same zasady działania, co w całej rodzinie przetworników RESOLUTE. Pozwoliło to na uzyskanie wysokiej rozdzielczości oraz wielu protokołów transmisji szeregowej, a także szerokich tolerancji ustawienia i wbudowanego bezpieczeństwa. Przetwornik RESOLUTE określa położenie absolutne natychmiast po włączeniu, eliminując niekontrolowane przemieszczenia i ułatwiając wydawanie pełnych poleceń osi bez konieczności wykonywania powrotów odniesienia lub procedur wybudzania. Przetwornik RESOLUTE ma rozdzielczość 1 nm, błąd cykliczny (SDE) ±40 nm i szum RMS <10 nm, co oznacza znaczące zwiększenie jakości parametrów.

Przetworniki przyrostowe do bardzo wysokiej próżni

W głowicach przyrostowych z tej rodziny zastosowano funkcję dynamicznego dopasowania sygnału, w tym automatyczną regulację wzmocnienia (AGC) w celu uzyskania stałego i niezawodnego sygnału w długim okresie eksploatacji maszyny, a także automatyczną kontrolę offsetów (AOC) w celu zwiększenia jakości sygnału. Funkcja automatycznej kontroli offsetów (AOC) oraz niski szum położenia przetwornika położenia wpływają także na zmniejszenie zmian szybkości w systemach napędu bezpośredniego, minimalizując w ten sposób wytwarzanie ciepła w silnikach pracujących w próżni.

Zapewnia to wysoką dokładność, a pomiary liniowe odbywają się przy użyciu liniałów z taśmą samoprzylepną, liniałów ze stali nierdzewnej i ZeroMet. W wersjach przetworników kątowych stosuje się niskoprofilowe pierścienie RESR/RESM oraz pierścień REXM o bardzo wysokiej dokładności o gwarantowanej zainstalowanej dokładności lepszej niż ±1 sekunda łukowa.