Omiń nawigację

Zwierciadła i układy optyczne

Firma Renishaw oferuje bogatą rodzinę układów optycznych i zwierciadeł w celu zapewnienia rozwiązań dostosowanych do wymagań użytkownika.

Zwierciadła płaskie

Zwierciadło płaskie z punktami zamocowania

Zwierciadła płaskie dostarczane przez Renishaw są wytwarzane na podłożu o niskiej rozszerzalności i posiadają twardą, tlenkową powłokę dielektryczną.

Właściwości i korzyści

  • Stabilność termiczna — wyprodukowane na podłożu o niskiej rozszerzalności; minimalizują błędy spowodowane zmianami warunków środowiskowych.
  • Wysoki współczynnik odbicia — powierzchnia zwierciadła ma wysoki współczynnik odbicia (>97%) w celu zapewnienia doskonałych parametrów.
  • Łatwość mocowania — mocowania zwierciadeł firmy Renishaw to rozwiązanie, które jest łatwe do skonfigurowania i zestrojenia.

Wymiary

Przekrój poprzeczny25 mm x 25 mm
Apertura optyczna60 mm do 380 mm (w przyrostach co 10 mm)

Dane techniczne

Płaskość miejscowa< λ/10 na obszarze o szerokości 12 mm x 7 mm wysokości (λ = 633 nm)
Płaskość całkowita< λ/10 na 100 mm, <0,5 µm na 500 mm
Polaryzacja skrośna< 0,5%
Współczynnik odbicia światła> 97% wiązki padającej
MateriałSzkło o małej rozszerzalności cieplnej

Ze względu na ich niestandardową konfigurację i wymiary, zwierciadła płaskie są wyłącznie elementami na zamówienie specjalne. Stąd mogą też wynikać dłuższy czas realizacji zamówienia oraz minimalna zamawiana liczba. Na arkuszu danych technicznych w dolnej części strony przedstawiono także informacje umożliwiające ich lokalne zamówienie.

Zamocowania zwierciadeł

Zamocowania zwierciadeł RAM10 firmy Renishaw

Aby zapewnić zamocowanie zwierciadeł i poprawne zestrojenie względem układu mechanicznego, Renishaw może również dostarczać nastawne zamocowania przeznaczone do stosowania ze zwierciadłami o maksymalnej długości 350 mm, o przekroju poprzecznym 25 mm x 25 mm.

Zamocowania te umożliwiają regulację odchylenia bocznego w zakresie ±2,5° oraz regulację pochylenia w pionie w zakresie ±1°. (Rzeczywisty zakres regulacji zależy od długości zwierciadła.)

Właściwości i korzyści

  • Łatwe zestrojenie — wbudowana regulacja skoku i odchylenia w celu przyspieszenia procesu zestrojenia.
  • Stabilne zamocowanie — w celu zapewnienia stabilnej podstawy zwierciadła przy jednoczesnym umożliwieniu jego rozszerzalności cieplnej.
  • Brak ograniczeń — bezpieczne zaciśnięcie zwierciadła tylko z dwóch stron zmniejsza jego naprężenia, minimalizując ryzyko wygięcia zwierciadła po zamontowaniu.

Zamocowania zwierciadeł dostarczane przez Renishaw nie są zgodne z wymaganiami dla zastosowań próżniowych.

Okno komory próżniowej 39 mm

Okno komory próżniowej 39 mm

Światłowodowy laserowy przetwornik położenia RLE firmy Renishaw służy do interferometrycznego pomiaru przemieszczenia liniowego o wysokiej rozdzielczości.

Głowica z interferometrem różnicowym (RLD10-X3-DI) jest przeznaczona do zamontowania na ściance komory próżniowej. Okno komory próżniowej umożliwia przejście wiązki laserowej między głowicą detekcyjną a zwierciadłem pomiarowym. Okien komory próżniowej można również używać wraz z innymi wariantami głowic z interferometrami, w których głowica RLD jest wymagana do pomiaru w komorze próżniowej, jak np. interferometr do zastosowań próżniowych RVI20.

Choć firma Renishaw nie produkuje okien komory próżniowej, okno 39 mm zostało wyprodukowane przez firmę zewnętrzną zgodnie z niestandardowymi specyfikacjami w celu zmaksymalizowania wydajności systemu RLE.

Zalecenia dotyczące montażu

Poniżej przedstawiono zalecenia firmy Renishaw dotyczące montażu okna w ściance komory.

  • Podczas montażu okna nie wolno dopuścić do powstania naprężeń, które mogą spowodować jego odkształcenie i odchylenie wiązki lasera od wartości nominalnej.
  • Przynajmniej z jednej strony okna komory należy zastosować pierścień samouszczelniający w celu uszczelnienia ścianki komory próżniowej.

Zespół peryskopu DI 15 mm

Zespół peryskopu DI 15 mm

Zespół peryskopu pozwala na zwiększenie offsetu między pomiarem i wiązkami referencyjnymi głowicy detekcyjnej interferometru różnicowego RLD10-X3-DI.

W zespole zastosowano dwa zwierciadła do zwiększenia offsetu o 15 mm w celu uzyskania łącznej separacji równej 29 mm (standardowy offset przyrządu RLD10-X3-DI wynosi 14 mm).

Właściwości i korzyści

  • Zwiększony offset — pozwala na uzyskanie dodatkowej przestrzeni 15 mm między wiązką pomiarową i odniesienia.
  • Wysoki współczynnik odbicia — zastosowanie zwierciadeł o wysokim współczynniku odbicia minimalizuje spadek mocy sygnału między wiązką pomiarową i odniesienia.
  • Standardowe zamocowanie — peryskop ma standardowe mocowanie głowicy DI.

Interferometr RVI20 do zastosowań próżniowych

Interferometr RVI20 do zastosowań próżniowych

RVI20 to interferometr do zastosowań próżniowych do zwierciadeł płaskich. Gdy używa się go z głowicą detekcyjną RLD10-A3-XX firmy Renishaw, można zachować całą ścieżkę pomiarową w próżni.

Interferometr RVI20 jest przeznaczony do montażu w komorze próżniowej, zaś wiązka laserowa przechodzi od głowicy detekcyjnej RLD10-A3-XX przez okno komory do interferometru RVI20, a następnie do zwierciadła płaskiego.

Właściwości i korzyści

Interferometr RVI20 do zastosowań próżniowych
  • Pomiary względne — pozwala na wykonywanie pomiarów względnych między dwoma częściami maszyny, jak np. narzędzie i przedmiot obrabiany.
  • Do zastosowań próżniowych — możliwość używania w wysokiej próżni i mocowania w komorze próżniowej.
  • Układ optyczny wysokiej jakości — w zespole RVI20 zastosowano układ optyczny z wysokiej jakości interferometrem, który jest standardowo używany w głowicy detekcyjnej RLD.

Interferometr RVI20 jest przeznaczony do użytku w aplikacjach z laserowymi przetwornikami położenia, w których wymaga się zachowania ścieżki pomiarowej w próżni.

Informacje o produkcie