Case study: RLE20 interferometer enhances performance of Raith’s latest e-beam tool (pdf)

Rozmiar pliku: 0,94 MB Język: English Numer części: H-5225-0724

Raith's VB300 e-beam lithography tool is a development of the highly successful VB6 series introduced in 1993. In designing the new tool, Raith identified that a reduction of noise-induced positional errors would significantly improve tool performance. Through a combination of improved mechanical rigidity and integration of the Renishaw RLE20 differential interferometer based encoder system, these errors are now expected to be <3 nm.

Ten typ pliku wymaga przeglądarki dostępnej bezpłatnie w witrynie Adobe

Najnowsze filmy wideo - Interferometryczne laserowe przetworniki położenia

Nie znalazłeś szukanej pozycji?

powiedz, czego nie mogłeś znaleźć, a my postaramy się pomóc