Omiń nawigację

Interferometr ze zwierciadłem płaskim RLD10

Interferometry ze zwierciadłem płaskim nadające się do współpracy z zastosowaniami w płaszczyźnie XY.

W głowicy detekcyjnej RLD10 umieszczono układ optyczny interferometru, unikatowy, wielokanałowy układ detekcji prążków, przysłonę lasera i wbudowany sterownik wiązki. Dostępne są dwie wersje głowicy detekcyjnej RLD10 — 0° i 90°.

Właściwości i korzyści

  • Rozwiązania dwuosiowe — dwuosiowe systemy ze zwierciadłem płaskim są idealnym rozwiązaniem w zastosowaniach z płaszczyzną XY.
  • Wysoka rozdzielczość — systemy ze zwierciadłami płaskimi można także wykorzystywać w zastosowaniach, w których wymaga się wyższej rozdzielczości w porównaniu z systemami z retroreflektorem.
  • Wrażliwe środowiska — głowice detekcyjne z interferometrem ze zwierciadłem płaskim są też dostępne także w wersjach o mniejszej mocy. Nadają się do zastosowań wymagających rozpraszania mocy niższych niż określone < 2 W standardowej głowicy detekcyjnej RLD10.
Głowice detekcyjne RLD ze zwierciadłami

Dane techniczne

Przesuw w osiachod 0 m do 1 m
Rozdzielczość (skonfigurowano z RLU)

Analogowa kwadraturowa = λ/4 (158 nm)
Cyfrowa kwadraturowa = 10 nm
Rozdzielczość RPI20 = 38,6 pm

Błąd nieliniowości systemu* (SDE)

*z wyłączeniem interfejsu

<±2,5 nm poniżej 50 mm/s przy sile sygnału >70%
<±7,5 nm przy prędkości 1 m/s przy sile sygnału >50%
Szybkość maksymalnado 1 m/s


W przypadku niepróżniowych zastosowań wymagana jest jakaś forma kompensacji współczynnika załamania światła dla utrzymania dokładności w zmiennych warunkach środowiskowych. Do kompensowania tych wahań firma Renishaw oferuje system kompensacji kwadraturowej czasu rzeczywistego RCU10.

Integrując interfejs równoległy RPI20 z systemem RLE, można uzyskać rozdzielczość do 38,6 pikometra. Ten interfejs przyjmuje różnicowe sygnały analogowe 1 Vpp o przebiegu sinusoidalnym / kosinusoidalnym oraz generuje sygnał wyjściowy w formacie równoległym. Więcej informacji na temat akcesoriów można znaleźć w tematach dotyczących systemu kompensacji RCU10 oraz interfejsów laserowych przetworników położenia.

Informacje o produkcie